簡易檢索 / 檢索結果

  • 檢索結果：共1筆資料 檢索策略： "黃鶯聲".ccommittee (精準) and ckeyword.raw="離子束蝕刻"


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    以離子束蝕刻矽晶圓形成奈米波紋結構
    • 電子工程系 /99/ 碩士
    • 研究生： 陳威叡   指導教授： 趙良君
    • 本文藉由改變離子束轟擊角度以及改變離子束能量，使Si (100) 基板表面產生波紋形貌。使用的離子種類為氬離子，能量為6 ~ 10 keV，電流密度為2 A/cm2，總離子量為 ~3.61016…
    • 點閱：233  下載：0 
    • 全文公開日期 2013/06/15 (校內網路)
    • 全文公開日期 本全文未授權公開 (校外網路)
    • 全文公開日期 本全文未授權公開 (國家圖書館：臺灣博碩士論文系統)
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